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鹽城特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,
其中常用的有20~ 30種。在集成電路制造應(yīng)用方面具體包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相沉積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用;在太陽(yáng)能電池應(yīng)用方面具體包括太陽(yáng)能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面具體包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/ LED生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在液晶顯示器應(yīng)用方面具體包括TFT /LCD的應(yīng)用、TFT/ LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用;在光纖應(yīng)用方面具體包括光纖應(yīng)用和光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用。